従来の人工水晶に比較して、レーザー照射による劣化を1/5~1/6以下に抑制し、半導体露光装置などに用いられる高強度なレーザーに対する耐光性を大幅に改善しました。偏光解消板や波長板のような偏光光学素子、回折光学素子、プリズムの材料として最適な人工水晶材料です。

使用用途

  • プリズムの材料など
  • 東京電波株式会社様の高品質人工水晶の製造技術と、AGCの研磨加工技術・レーザー耐性評価技術を持ち寄って開発致しました。従来の人工水晶に比較して、レーザー照射による劣化を1/5以下に抑えております。

    透過率

    代表的特性

    Grade CQ
    内部欠陥
    IEC758/JIS C 6704
    Ⅰb
    熱膨張係数 (30-100℃)
    Z軸
    8ppm/K
    X軸
    14ppm/K
    屈折率
    at 589nm
    1.54
    レーザー耐久性 感光変化
    なし
    透過率劣化
    /pls x 0.18Mpls
    <0.3%/cm
    比重
    g/c
    2.65
    熱伝導率 (200℃)
    K(W/m-℃)
    Z軸
    6.6
    K(W/m-℃)
    X軸
    4.1
  • データは参考値であり、保証値ではありません。
  • ArFレーザー耐久性

    通常人工水晶とCQにおける、ArFレーザー照射による吸収係数@193nmの変化の比較

    ArFレーザー照射後の吸収係数曲線の比較

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